Avantatges SOI

SOI té els següents avantatges en el rendiment del dispositiu:
1) Capacitat parasitària reduïda i augment de la velocitat de funcionament. En comparació amb els materials de silici a granel, els dispositius SOI tenen un augment de la velocitat de funcionament del 20-35%;
2) Menor consum d'energia. A causa de la capacitat reduïda del paràsit i de les fuites reduïdes, el consum d'energia del dispositiu SOI es pot reduir en un 35-70%;
3) Eliminació de l'efecte de tancament;
4) Va suprimir la interferència del corrent de pols del substrat i va reduir l'aparició d'errors suaus;
5) Compatible amb els processos de silici existents, pot reduir un 13-20% dels passos del procés.